TCP 9400、9600
TCP系列设备是Lam基于ICP的单腔体型刻蚀设备，刻蚀线宽≥0.3微米；
主要用于8英寸及以下晶圆的氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金属材料的刻蚀。
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描述
产品特点
1.可选配Envision操作系统，提供更便捷的操作，更强的数据记录及数据通信。
2.可升级传送及腔体套件，匹配透明片、薄片的传送及配套工艺。
3.可定制静电吸附，满足超薄晶圆刻蚀。
4.可定制8路MFC，兼容多种研发用刻蚀工艺。
5.提供多种新工艺开发及解决方案。
