Centura 5200平台系列

Centura 5200平台是AMAT自动化多腔体设备平台，可以安装6个腔体，刻蚀腔体有DPS Poly、DPS Metal、eMax、Super-E、MxP、MxP+等，可用于氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金属材料的刻蚀。

产品特点

1.可选配液晶触摸操作面板，提供更便捷的操作。

2.可选配双硬盘自动备份系统，保证数据安全。

3.可升级传送及腔体套件，匹配透明片、薄片的传送及配套工艺。

4.提供多种新工艺开发及解决方案。