Producer系列是AMAT 8&12英寸薄膜沉积设备,平台结合了双晶圆处理的生产力和优势,最多三个腔室可以安装在平台上,允许同时处理6片wafer。
产品特点
1.8英寸设备可以很容易升级到12英寸。
2.可选配不同的工艺腔体。