Producer

Producer系列是AMAT 8&12英寸薄膜沉积设备,平台结合了双晶圆处理的生产力和优势,最多三个腔室可以安装在平台上,允许同时处理6片wafer。

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产品特点

1.8英寸设备可以很容易升级到12英寸。

2.可选配不同的工艺腔体。

 

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