2300 Flex 系列是Lam 12英寸介电膜蚀刻设备，一般根据平台可配置1~6腔体。设备采用CCP蚀刻原理，离子浓度更高，蚀刻轰击力更强。可适用于深的纵横比。
产品特点
1.蚀刻纵横比高，用于深孔和深槽2.三射频配置，适用于更多工艺选择
