2300 kiyo 系列是Lam 12英寸多晶硅和导体膜膜蚀刻设备，一般根据平台可配置1~6腔体。设备采用ICP蚀刻原理，独立控制离子浓度和轰击力量，方便调节工艺性能，以及生产稳定。
产品特点
1.设备工艺套件损耗低，维护周期长2.设备工艺易调节，且生产稳定3.可以对精细图案蚀刻
