Lam 12英寸薄膜沉积设备，最多可以配置3个工艺腔体，可以同时对12片wafer进行工艺处理。双机械手传送结构，实现更快的传送效率。
产品特点
1.可选配双硬盘自动备份系统，保证数据安全。2.可选配不同的工艺腔体。
